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該系列產(chǎn)品專為氣流中有粒子的惡劣下游工藝設(shè)計。即使粒子載荷高并且存在因設(shè)計而沉積的碎屑，61.3 蝶形控制閥仍能夠保持完全正常運(yùn)行。

61.3 系列已經(jīng)安裝在數(shù)千個各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其卓越的可靠性。憑借堅(jiān)固的設(shè)計、直接安裝選項(xiàng)，以及簡單且輕松的維護(hù)，61.3 系列在各個方面都令人信服。

閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應(yīng)、固定 PI 下游/軟抽）方面的各種設(shè)計選項(xiàng)可簡化在不同真空應(yīng)用中的集成。

61.3 高真空蝶形控制閥采用鋁或不銹鋼制成，標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接器為 ISO-KF 和 ISO-F，可以集成客戶指定法蘭和特殊功能，如集成式絕緣加熱器?？筛鶕?jù)要求提供各種全氟橡膠/氟橡膠彈性體（氟橡膠為標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)）。

高真空蝶形控制閥的主要特點(diǎn)

特點(diǎn)：

· 卓越的壓力控制

· 運(yùn)行非常快

· 板載軟件，用于本地運(yùn)行

· 惡劣工藝條件下可實(shí)現(xiàn)可靠運(yùn)行

優(yōu)勢：

· 工藝可控性更好

· 正常運(yùn)行時間長/性能不受限

· 運(yùn)行成本低