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快速且精準(zhǔn)的下游壓力控制和隔離

在所有條件下都有出色的壓力控制和隔離作用

61.6 HV控制蝶閥提供出色的壓力控制和隔離性能。憑借其快速而精確的動作控制器（0.45秒），它是CVD工藝中精細(xì)控制和隔離的完美解決方案。蝶板作為一個節(jié)流元件，改變了閥口的傳導(dǎo)性。61.6的集成壓力控制器計算出所需的板塊位置，以盡可能快地達到設(shè)定的壓力。

61.6系列的隔離功能是專門為避免蝶閥特有的較高的密封磨損而設(shè)計的。通過它的中心外板軸以及閥體和密封座的特殊幾何形狀，密封摩擦降到最低，密封性能得到提高。

61.6系列已經(jīng)安裝在數(shù)以千計的各種工藝條件下的苛刻應(yīng)用中，已經(jīng)證明了其出色的可靠性。61.6系列具有堅固的設(shè)計和直接安裝選項，以及減少和方便的維護，在所有方面都表現(xiàn)優(yōu)異。

本體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、密封材料、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應(yīng)、固定PI下流/軟泵）方面的各種設(shè)計選項簡化了61.6系列與各種真空應(yīng)用的整合。

隔離

61.6 HV控制蝶閥有硬質(zhì)陽極氧化鋁或不銹鋼材質(zhì)，并配有ISO-KF和ISO-F標(biāo)準(zhǔn)法蘭接頭。可以集成客戶定制的法蘭，以及特殊功能，如集成加熱器與絕緣。可根據(jù)要求提供FFKM/FKM彈性體（FKM為標(biāo)準(zhǔn)）。

61.6高壓蝶形控制和隔離閥的主要特點

特點:

· 卓越的壓力控制和隔離

· 運行非常快

· 板載軟件，用于本地運行

· 惡劣工藝條件下可實現(xiàn)可靠運行

優(yōu)勢:

· 工藝可控性更好

· 正常運行時間長/性能不受限

· 運行成本低